A közeg ellátási módja szerint a krioprumpok a következő típusokra oszlanak:
Tárolótartály kriogén szivattyú: az alacsony hőmérsékletű közeget (folyékony héliumot) közvetlenül a szivattyú tárolótartályába fecskendezik, hogy kondenzálják a gázt a szivattyúzás céljának elérése érdekében.
A tárolótartály kriop előnye, hogy a szivattyú kis méretű, nincs rezgés, nincs zaj és könnyen kezelhető.
A tárolótartály kriogén szivattyú hátránya, hogy az üzemeltetési költség magas, az alacsony hőmérsékletű közeg minden töltésének használati ideje rövid, és a hosszú ideig folyamatosan működő vákuumrendszernek rendszeresen fel kell töltenie a munkaközeget, és az alacsony hőmérsékletű közeg ellátási feltételei korlátozzák.
Folyamat kriopump: A szivattyúban lévő kriopanel hűtőcső a hűtőbővítőhöz van csatlakoztatva, és a kriogén közeget (gáz héliumot) a külső csővezetéken keresztül szállítják a kriopumphoz, elnyeli a kriopanel hőjét, majd visszatér a hűtőkompresszorhoz, hogy zárt ciklust képezzen. A szivattyú térfogata hatalmas, a csővezeték bonyolult, és a csővezeték hűtési vesztesége nagy.
A folyamat kriopumap előnye, hogy nagy hűtőerővel rendelkezik, és a legmegfelelőbb a légköri térfogat vagy egy nagy vákuumkamra eltávolítására.
Kis hűtőszekrény krioprump: A zárt ciklusú kis hűtőszekrény krioprump alacsony hőmérsékletű szivattyútestből, légelszívó kriopanelből, sugárzásvédő lemezből, hűtőszekrényből és kompresszorból áll.
A legnagyobb különbség a kis hűtőszekrény kriogén szivattyúja és a folyamat kriogén szivattyúja között az, hogy a hűtőszekrény első és második hideg feje közvetlenül csatlakozik a sugárzási képernyőhöz és a hideg lemezhez, és a hűtőszekrény és a kompresszor közötti összekötő csővezeték áramlása normál hőmérséklet, magas (vagy alacsony) hőmérséklet. ) túlnyomásos gázközeg, nincs szállítási probléma az alacsony hőmérsékletű közegben, és előnye van a folyamat kriopump és a tárolótartály kriopump. Ez egy ideális tiszta ultra-magas vákuumszivattyú jelenleg.
A kis hűtőszekrény krioprumpokat széles körben használják a vékonyfilm-előkészítésben, a mikroelektronikai technológiában, a nagy energiájú fizikában, a kis gyűrűs burkolóberendezésekben és más ipari területeken.