A krioszivattyú egy vákuumszivattyú, amely alacsony hőmérsékletű felületet használ a gáz kondenzálására, más néven kondenzátumszivattyú. A krioszivattyú tiszta vákuumot képes elérni a legnagyobb szivattyúzási sebességgel és a legalacsonyabb végnyomással, és széles körben használják félvezetők és integrált áramkörök kutatásában és gyártásában, valamint molekuláris sugárkutatásban, vákuumbevonó berendezésekben, vákuumfelület-elemző műszerekben, ionokban. implantátorok és térszimuláció. eszközök stb.
Szivattyúzási elve A krioszivattyú hideg lemezzel van felszerelve, amelyet folyékony héliummal vagy hűtővel nagyon alacsony hőmérsékletre hűtöttek. Kondenzálja a gázt, és a kondenzátum gőznyomását a szivattyú végső nyomása alatt tartja, hogy elérje a szivattyúzási hatást. Az alacsony hőmérsékletű szivattyúzás fő funkciói az alacsony hőmérsékletű kondenzáció, az alacsony hőmérsékletű adszorpció és az alacsony hőmérsékletű rögzítés.
kriopumpa
① Alacsony hőmérsékletű kondenzáció: a gázmolekulák a hideglemez felületén vagy a kondenzált gázrétegen kondenzálódnak, és az egyensúlyi nyomás alapvetően megegyezik a kondenzátum gőznyomásával. Hidrogén szivattyúzásakor a hideglemez hőmérséklete alacsonyabb.
② Alacsony hőmérsékletű adszorpció: A gázmolekulák a hideglemezre bevont adszorbens felületén adszorbeálódnak egy molekularéteg vastagságban. Az adszorpció egyensúlyi nyomása sokkal alacsonyabb, mint az azonos hőmérsékletű gőznyomás.
③ Kriogén csapdázás: Az extrakciós hőmérsékleten nem kondenzálható gázmolekulákat a növekvő kondenzálható gázréteg betemeti és adszorbeálja.