A kriopumpákat a mai életben is széles körben használják. Sokan talán nem hallottak a kriopumpákról. A krioszivattyúk olyan vákuumszivattyúk, amelyek alacsony hőmérsékletű felületi kondenzációs gázt használnak. Előnye, hogy a legnagyobb a szivattyúzási teljesítmény. Ma vessünk egy pillantást a kriogén szivattyúkra, hogyan működik a szivattyú.
A krioszivattyú működési elve az, hogy a gázt fizikailag adszorbeálja az ultraalacsony hőmérsékletű felületen, hogy elérje a kimerítő hatást. Ez egy hatékony és gyors módszer a tiszta vákuum elérésére.
A krioszivattyú rendkívül nagy vákuumot (10-11Pa) képes elérni, és előnye a gyors kipufogó-sebesség, az olajmentesség és a korlátlan beépítési irány.
A krioszivattyú első fokozatú hideg fokozatán árnyékoló fedelet és terelőlapot állítanak be, és a hőmérsékletet 80 K-n tartják. A másodlagos hűtési fokozatot 15 K-n tartottuk, és kriogén burkolatot és aktív szén adszorbenst helyeztünk rá.
A vízgőz megszilárdul a 80K pajzson és 80K terelőlemezen; nitrogén, oxigén és argon megszilárdul a 15K kriogén burkolaton; hidrogén, hélium és neon adszorbeálódik a 15K kriogén burkolat belsejében lévő adszorbensen. A krioszivattyú az összes gázt ki tudja szívni, de ha az adszorbeált gáz mennyisége túl nagy, akkor a kipufogó sebessége csökken. Ebben az esetben fel kell melegíteni a krioszivattyút, ki kell engedni az adszorbeált gázt, és újra kell használni.
A krioszivattyú jellemzői
A krioszivattyú egy vákuumszivattyú, amely alacsony hőmérsékletű felületet használ a gáz kondenzálására, más néven kondenzátumszivattyú. A krioszivattyú tiszta vákuumot képes elérni a legnagyobb szivattyúzási sebességgel és a legalacsonyabb végnyomással, és széles körben használatos félvezetők és integrált áramkörök kutatásában és gyártásában, valamint molekuláris sugárkutatásban, vákuumbevonó berendezésekben, vákuumfelület-elemző műszerekben, ionokban. beültetők és térszimulációs eszközök stb.
A krioszivattyú egy vákuumszivattyú, amely egy nagyon alacsony hőmérsékletű hűtőfelület kondenzációs hatását használja fel (legfeljebb 77 K) a gáz eltávolítására a rendszerből. Az 1960-as évektől a kriogén szivattyúzást egyre szélesebb körben alkalmazzák a vákuum megszerzésében és alkalmazásában.
A krioszivattyú egy tiszta vákuumszivattyú. Mivel a kriogén közeg csak egy hűtőközeg, amely lehűti a szivattyú szívófelületét, és zárt tartályban tárolják vagy keringetik, ezért nem érintkezik a vákuumtérrel. Ez a funkció kritikus fontosságú bizonyos vákuumrendszereknél, amelyek tiszta, olajmentes vákuumrendszert igényelnek.
A krioszivattyúk nagyon alacsony parciális nyomást és nagyon magas szivattyúzási sebességet tudnak elérni a legtöbb gáz esetében. Ha a krioszivattyú folyékony hélium közegben működik, akkor a nagy tényleges szivattyúzási kapacitás és a nem szelektív szivattyúzás (a hélium kivételével) előnyei is vannak.
A krioszivattyúk létfontosságú szerepet játszanak a félvezetők és integrált áramkörök kutatásában és gyártásában, a molekuláris sugárkutatásban és más területeken. Ez egy tiszta vákuumszivattyú. A fentiek a krioszivattyúk működési elvéről szólnak.